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专利
专利名称： 一种高利用率宽面矩形阴极靶及其提高利用率的方法
专利类别： 发明
第一发明人： 张斌; 高凯雄; 贾倩; 张俊彦; 强力
其他发明人：
申 请 号：
专 利 号： 202010773225.6
申请日期： 20200804
专利授权日期： 20211231
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：
专利摘要：
实施情况：
其他备注：
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